通常環境工程中處理的廢水主要有兩種來源，一種是生活污水，另一種是工業廢水。前者富含有機物，通常不含有毒性;后者由于工業種類復雜，廢水的成分也比較復雜，有一定的毒性和化學物質。廢水處理通常使用的是低溫等離子清洗機的解除電暈放電和輝光放電兩種方式。

　　1、廢水處理方式

　　電暈放電廢水處理難以實現，但是在空氣中可以有較大的空間范圍進行。通常可以在氣水相間的系統中在氣中進行點暈放電，形成放電等離子體與水接觸的條件。因此使用電暈放電方式的重要問題就是生成具有與水接觸面積較大的帶電等離子體。
 

　　水膜脈沖放電廢水處理過程是通過高壓引線在電暈的電極的正負兩端形成高壓脈沖，在流動的廢水之間的氣相中進行放電。這種方式對于絕緣水槽的承受高壓能力有一定的要求，保證在工作中不會發生擊穿現象。這種方式的優點是空間利用率較高，結構簡單，缺點是水膜有一定的厚度，對污水的下層處理效果不佳，電源必須形成較高的電極正負脈沖。

　　水霧電暈廢水處理是將稅務噴射到電暈電極形成的電場環境中，在超窄高壓脈沖的作用下，形成線板極間的電暈放電。這種方式的優點是增大了與水的接觸面積，并且混合均勻，可以形成大型的處理裝置，提高污水處理效率。缺點是裝置過于復雜需要的水流量和放電極板較多，成本較高。

　　水中氣泡廢水裝置能夠將需要處理的廢水;流經絕緣板制作的水槽，在水槽的底端通過壓縮空氣形成無數向上冒出的氣泡，將超窄高壓脈沖作用于絕緣草兩端的正負電極使每個氣泡發生發電。這種方式的優點是可以處理大流量的污水，接觸面積大，混合均勻。缺點是裝置結構復雜，電源的要求較高。

　　2、處理原理

　　低溫等離子體清洗機技術處理環境工程中的污水時，在高能電子輻射法、臭氧氧化法、紫外光分解法等三種方法的共同個作用下，可以取得較好的處理效果。

　　高能電子作用：

　　低溫等離子清洗機技術在污水處理過程中會產生大量的高能電子，通過與廢水中的原子以及分子之間的碰撞作用，將能量轉換為基態分子的內能，同時進行激發、離解和電離的一些過程，對廢水進行活化處理。

　　通過對廢水中分子鍵的拆合作用，并通過與游離氧以及臭氧等活性因子之間的反應，形成新的化合物。降低原有污水中的污染物質，終將有毒物質轉變成無毒物質，對污染物進行降解。
 

　　臭氧氧化作用：

　　臭氧作為一種較強的氧化劑，可以在進行污水處理的過程中對拆分后的有害物質進行強力氧化，從而形成一定的中間產物，降低原污水的毒性以及有害物質的含量，并通過一些列的反省，終將污染物中的有機物質降解成二氧化碳和水。對于無機物質，可以形成一定的氧化物后進行去除。

　　紫外光分解作用：

　　在低溫等離子體技術的使用過程中，由于放電紫外光可以對一定的有害物質進行單獨分解，還可以結合臭氧的共同作用進行有害物質的降解。單獨的分解作用主要是有害分子物質通過對光子的吸收，進入激發態，通過吸收能量促使其分子鍵發生斷裂，之后跟水中的游離物質進行再一次的反應，形成新的化合物排出。

　　紫外光和臭氧的氧化作用同時進行時可以將難以降解的物質進行處理，具有較好的效果。可以對難降解的有機物以及農藥進行迅速的分解。