等離子清洗機(jī)主要是通過氣體放電產(chǎn)生等離子體，其中包含電子、離子、自由基以及紫外線等高能量物質(zhì)，具有活化材料表面的作用，根據(jù)反應(yīng)類型不同，其清洗技術(shù)可分為兩類。等離子體物理清洗，即借助活性粒子和高能射線轟擊而使污染物脫離;等離子體化學(xué)清洗，即通過活性粒子與雜質(zhì)分子反應(yīng)而使污染物揮發(fā)脫離。下面就簡單為大家介紹一下等離子清洗機(jī)清洗技術(shù)的分類。
 

　　清洗技術(shù)的分類：
 

　　(1)激發(fā)頻率對(duì)清洗機(jī)的清洗類型具有一定影響。例如，超聲等離子體發(fā)生的反應(yīng)多為物理反應(yīng);微波等離子體發(fā)生的反應(yīng)多為化學(xué)反應(yīng);而射頻等離子體則涉及到物理、化學(xué)雙重反應(yīng)類型。

 

　　(2)工作氣體種類對(duì)清洗機(jī)的清洗類型也具有一定影響。例如，惰性氣體Ar2、N2等被激發(fā)產(chǎn)生的等離子體主要用于物理清洗，借助轟擊作用使材料表面清潔。反應(yīng)性氣體O2、H2等被激發(fā)產(chǎn)生的等離子體則主要用于清洗機(jī)的化學(xué)清洗，借助活潑自由基與污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生二氧化碳、水等小分子，從材料表面移除。
 

　　(3)清洗機(jī)的清洗類型對(duì)清洗效果具有一定的影響。清洗機(jī)物理清洗可使材料表面的粗糙度增加，有助于提高材料表面的附著力。清洗機(jī)化學(xué)清洗可以顯著增加材料表面的含氧、含氮以及其他類型的活性基團(tuán)，有助于改進(jìn)材料的表面浸潤性。